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UV 노광과 RTA 공정의 도입이 Sol-Gel 법으로 제조한 강유전성 Sr0.9Bi2.1Ta1.8Nb0.2O9 박막의 결정성 및 유전/전기적 특성에 미치는 영향
UV 노광과 RTA 공정의 도입이 Sol-Gel 법으로 제조한 강유전성 Sr0.9Bi2.1Ta1.8Nb0.2O9 박막의 결정성 및 유전/전기적 특성에 미치는 영향
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 김영준
- 서명/저자
- UV 노광과 RTA 공정의 도입이 Sol-Gel 법으로 제조한 강유전성 Sr0.9Bi2.1Ta1.8Nb0.2O9 박막의 결정성 및 유전/전기적 특성에 미치는 영향 / 김영준 , 강동균, 김병호 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 7-15
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 강동균, 김병호
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234221
MARC
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