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FBAR용 ZnO/SiO2/Si 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
FBAR용 ZnO/SiO2/Si 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 금민종
- 서명/저자
- FBAR용 ZnO/SiO2/Si 박막의 결정학적 특성에 관한 연구 / 금민종 , 손인환, 최명규, 추순남, 최형욱, 신영화, 김경환 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 711-715
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234187
MARC
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