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펄스 레이저 애블레이션이 결합된 고전압 방전 플라즈마 장치를 이용한 유전성 질화탄소 박막의 합성
펄스 레이저 애블레이션이 결합된 고전압 방전 플라즈마 장치를 이용한 유전성 질화탄소 박막의 합성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 김종일
- 서명/저자
- 펄스 레이저 애블레이션이 결합된 고전압 방전 플라즈마 장치를 이용한 유전성 질화탄소 박막의 합성 / 김종일 저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 641-646
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234165
MARC
008191007s2003 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a김종일
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제16권 제7호 (2003년 7월)▼d2003, 07
■856 ▼uhttp://kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014461▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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