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Si-Ge-H-Cl 계를 이용한 자기정렬 HBT용 Si 및 SiGe의 선택적 에피성장
Si-Ge-H-Cl 계를 이용한 자기정렬 HBT용 Si 및 SiGe의 선택적 에피성장
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 김상훈
- Title/Author
- Si-Ge-H-Cl 계를 이용한 자기정렬 HBT용 Si 및 SiGe의 선택적 에피성장 / 김상훈 ; 박찬우, 이승윤, 심규환, 강진영 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- Material Info
- pp. 573-578
- General Note
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 박찬우, 이승윤, 심규환, 강진영
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제16권 제7호 (2003년 7월) 2003, 07
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234146
MARC
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