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실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성
실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 이우선 ( Lee U Seon )
- Title/Author
- 실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성 / 이우선 ( Lee U Seon ) ; 고필주 ( Go Pil Ju ) , 이영식 ( Lee Yeong Sig ) , 서용진 ( Seo Yong Jin ) , 홍광준 ( Hong Gwang Jun ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- Material Info
- pp. 138-143
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 고필주 ( Go Pil Ju ) , 이영식 ( Lee Yeong Sig ) , 서용진 ( Seo Yong Jin ) , 홍광준 ( Hong Gwang Jun )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제17권 제2호 (2004년 2월) 2004, 02
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233838
MARC
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