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실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성
실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성 / 이우선 ( Lee U Seon ) , 고필주 ( Go Pil Ju ) , 이영식 ( Lee Yeong Sig ) , 서용진 ( Seo Yong Jin ) , 홍광준 ( Hong Gwang Jun ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 138-143
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233838
MARC
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