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비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 성장된 a-C:H 의 물리적 특성
비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 성장된 a-C:H 의 물리적 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 성장된 a-C:H 의 물리적 특성 / 박용섭 ( Park Yong Seob ) , 홍병유 ( Hong Byeong Yu ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 278-282
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233821
MARC
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제17권 제3호 (2004년 3월)▼d2004, 03
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