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비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 성장된 a-C:H 의 물리적 특성
비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 성장된 a-C:H 의 물리적 특성 / 박용섭 ( Park Yong Seob )  ...
비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 성장된 a-C:H 의 물리적 특성

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12267945
저자명  
박용섭 ( Park Yong Seob )
서명/저자  
비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 성장된 a-C:H 의 물리적 특성 / 박용섭 ( Park Yong Seob ) , 홍병유 ( Hong Byeong Yu ) 공저
발행사항  
서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
형태사항  
pp. 278-282
주기사항  
참고문헌 수록
기타저자  
홍병유 ( Hong Byeong Yu )
기본자료저록  
전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제17권 제3호 (2004년 3월) 2004, 03
원문정보  
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모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
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MARC

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