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구리 CMP 적용을 위한 산성 콜로이드 실리카를 포함한 준무연마제 슬러리 연구
구리 CMP 적용을 위한 산성 콜로이드 실리카를 포함한 준무연마제 슬러리 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 구리 CMP 적용을 위한 산성 콜로이드 실리카를 포함한 준무연마제 슬러리 연구 / 김남훈 ( Kim Nam Hun ) , 김상용 ( Kim Sang Yong ) , 서용진 ( Seo Yong Jin ) , 김태형 ( Kim Tae Hyeong ) , 장의구 ( Jang Ui Gu) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 272-277
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233820
MARC
008191004s2004 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a김남훈 ( Kim Nam Hun )
■24510▼a구리 CMP 적용을 위한 산성 콜로이드 실리카를 포함한 준무연마제 슬러리 연구▼d김남훈 ( Kim Nam Hun ) ▼e김상용 ( Kim Sang Yong ) , 서용진 ( Seo Yong Jin ) , 김태형 ( Kim Tae Hyeong ) , 장의구 ( Jang Ui Gu) 공저
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■7001 ▼a김상용 ( Kim Sang Yong ) , 서용진 ( Seo Yong Jin ) , 김태형 ( Kim Tae Hyeong ) , 장의구 ( Jang Ui Gu)
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제17권 제3호 (2004년 3월)▼d2004, 03
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014470▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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