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금속 CMP 적용을 위한 산화제의 역할
금속 CMP 적용을 위한 산화제의 역할
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 서용진 ( Seo Yong Jin )
- Title/Author
- 금속 CMP 적용을 위한 산화제의 역할 / 서용진 ( Seo Yong Jin ) ; 김상용 ( Kim Sang Yong ) , 이우선 ( Lee U Seon ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- Material Info
- pp. 378-383
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 김상용 ( Kim Sang Yong ) , 이우선 ( Lee U Seon )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제17권 제4호 (2004년 4월) 2004, 04
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233802
MARC
008191004s2004 ulk aa kor■022 ▼a12267945
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