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실리콘 산화막에 대한 Ta-Mo 합금 게이트의 열적 안정성
실리콘 산화막에 대한 Ta-Mo 합금 게이트의 열적 안정성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 실리콘 산화막에 대한 Ta-Mo 합금 게이트의 열적 안정성 / 노영진 ( No Yeong Jin ) , 이충근 ( Lee Chung Geun ) , 홍신남 ( Hong Sin Nam ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 361-366
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233799
MARC
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