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적층형 세라믹 엑추에이터를 이용한 MEMS용 압전밸브의 제작 및 특성
적층형 세라믹 엑추에이터를 이용한 MEMS용 압전밸브의 제작 및 특성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 적층형 세라믹 엑추에이터를 이용한 MEMS용 압전밸브의 제작 및 특성 / 정귀상 ( Jeong Gwi Sang ) , 김재민 ( Kim Jae Min ) , 윤석진 ( Yun Seog Jin ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 515-520
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233781
MARC
008191004s2004 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a정귀상 ( Jeong Gwi Sang )
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■7001 ▼a김재민 ( Kim Jae Min ) , 윤석진 ( Yun Seog Jin )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제17권 제5호 (2004년 5월)▼d2004, 05
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014472▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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