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적층형 세라믹 엑추에이터를 이용한 MEMS용 압전밸브의 제작 및 특성
적층형 세라믹 엑추에이터를 이용한 MEMS용 압전밸브의 제작 및 특성
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 정귀상 ( Jeong Gwi Sang )
- Title/Author
- 적층형 세라믹 엑추에이터를 이용한 MEMS용 압전밸브의 제작 및 특성 / 정귀상 ( Jeong Gwi Sang ) ; 김재민 ( Kim Jae Min ) , 윤석진 ( Yun Seog Jin ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- Material Info
- pp. 515-520
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 김재민 ( Kim Jae Min ) , 윤석진 ( Yun Seog Jin )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제17권 제5호 (2004년 5월) 2004, 05
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233781
MARC
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