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R. F. Sputter법으로 성장된 AIN 완충층이 GaN 박막결함에 미치는 영향
R. F. Sputter법으로 성장된 AIN 완충층이 GaN 박막결함에 미치는 영향
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- R. F. Sputter법으로 성장된 AIN 완충층이 GaN 박막결함에 미치는 영향 / 이민수 ( Lee Min Su ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 497-501
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233778
MARC
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제17권 제5호 (2004년 5월)▼d2004, 05
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