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R. F. Sputter법으로 성장된 AIN 완충층이 GaN 박막결함에 미치는 영향
R. F. Sputter법으로 성장된 AIN 완충층이 GaN 박막결함에 미치는 영향
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 이민수 ( Lee Min Su )
- Title/Author
- R. F. Sputter법으로 성장된 AIN 완충층이 GaN 박막결함에 미치는 영향 / 이민수 ( Lee Min Su ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- Material Info
- pp. 497-501
- General Note
- 참고문헌 수록
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제17권 제5호 (2004년 5월) 2004, 05
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233778
MARC
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