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안티몬 이온주입시 Sb2O3 빔튜닝 방법 및 모니터링 연구
안티몬 이온주입시 Sb2O3 빔튜닝 방법 및 모니터링 연구
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 김상용 ( Kim Sang Yong )
- Title/Author
- 안티몬 이온주입시 Sb2O3 빔튜닝 방법 및 모니터링 연구 / 김상용 ( Kim Sang Yong ) ; 최민호 ( Choe Min Ho ) , 김남훈 ( Kim Nam Hun ) , 정헌상 ( Jeong Heon Sang ) , 장의구 ( Jang Ui Gu ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- Material Info
- pp. 476-480
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 최민호 ( Choe Min Ho ) , 김남훈 ( Kim Nam Hun ) , 정헌상 ( Jeong Heon Sang ) , 장의구 ( Jang Ui Gu )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제17권 제5호 (2004년 5월) 2004, 05
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233774
MARC
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