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안티몬 이온주입시 Sb2O3 빔튜닝 방법 및 모니터링 연구
안티몬 이온주입시 Sb2O3 빔튜닝 방법 및 모니터링 연구
                                    Detailed Information
- Material Type
 - 기사
 
- ISSN
 - 12267945
 
- Author
 - 김상용 ( Kim Sang Yong )
 
- Title/Author
 - 안티몬 이온주입시 Sb2O3 빔튜닝 방법 및 모니터링 연구 / 김상용 ( Kim Sang Yong ) ; 최민호 ( Choe Min Ho ) , 김남훈 ( Kim Nam Hun ) , 정헌상 ( Jeong Heon Sang ) , 장의구 ( Jang Ui Gu ) 공저
 
- Publish Info
 - 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
 
- Material Info
 - pp. 476-480
 
- General Note
 - 참고문헌 수록
 
- Added Entry-Personal Name
 - 최민호 ( Choe Min Ho ) , 김남훈 ( Kim Nam Hun ) , 정헌상 ( Jeong Heon Sang ) , 장의구 ( Jang Ui Gu )
 
- Host Item Entry
 - 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제17권 제5호 (2004년 5월) 2004, 05
 
- Electronic Location and Access
 - url
 
- 모체레코드
 - 모체정보확인
 
- Control Number
 - kjul:60233774
 
MARC
008191004s2004 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a김상용 ( Kim Sang Yong )
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