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NMOS 소자에 대한 Ru1Zr1 합금 게이트 전극의 특성
NMOS 소자에 대한 Ru1Zr1 합금 게이트 전극의 특성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- NMOS 소자에 대한 Ru1Zr1 합금 게이트 전극의 특성 / 이충근 ( Chung Keun Lee ) , 강영섭 ( Young Sub Kang ) , 홍신남 ( Shin Nam Hong ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 602-607
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233760
MARC
008191004s2004 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a이충근 ( Chung Keun Lee )
■24510▼aNMOS 소자에 대한 Ru1Zr1 합금 게이트 전극의 특성▼d이충근 ( Chung Keun Lee ) ▼e강영섭 ( Young Sub Kang ) , 홍신남 ( Shin Nam Hong ) 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2004.
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■500 ▼a참고문헌 수록
■7001 ▼a강영섭 ( Young Sub Kang ) , 홍신남 ( Shin Nam Hong )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제17권 제6호 (2004년 6월)▼d2004, 06
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014473▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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