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범용성 유도결합 플라즈마 식각장비를 이용한 깊은 실리콘 식각
범용성 유도결합 플라즈마 식각장비를 이용한 깊은 실리콘 식각
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 범용성 유도결합 플라즈마 식각장비를 이용한 깊은 실리콘 식각 / 조수범 ( Soo Beom Jo ) , 박세근 ( Se Geun Park ) , 오범환 ( Beom Hoan O ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 701-707
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233739
MARC
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