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범용성 유도결합 플라즈마 식각장비를 이용한 깊은 실리콘 식각
범용성 유도결합 플라즈마 식각장비를 이용한 깊은 실리콘 식각
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 범용성 유도결합 플라즈마 식각장비를 이용한 깊은 실리콘 식각 / 조수범 ( Soo Beom Jo ) , 박세근 ( Se Geun Park ) , 오범환 ( Beom Hoan O ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 701-707
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233739
MARC
008191004s2004 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a조수범 ( Soo Beom Jo )
■24510▼a범용성 유도결합 플라즈마 식각장비를 이용한 깊은 실리콘 식각▼d조수범 ( Soo Beom Jo ) ▼e박세근 ( Se Geun Park ) , 오범환 ( Beom Hoan O ) 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2004.
■300 ▼app. 701-707
■500 ▼a참고문헌 수록
■7001 ▼a박세근 ( Se Geun Park ) , 오범환 ( Beom Hoan O )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제17권 제7호 (2004년 7월)▼d2004, 07
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014474▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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