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마스크 뒷면에 2 위상 회절 격자를 구현한 변형 조명 방법
마스크 뒷면에 2 위상 회절 격자를 구현한 변형 조명 방법
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 이재철 ( Jai Cheol Lee )
- Title/Author
- 마스크 뒷면에 2 위상 회절 격자를 구현한 변형 조명 방법 / 이재철 ( Jai Cheol Lee ) ; 오용호 ( Yong Ho Oh ) , 고춘수 ( Chun Soo Go ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- Material Info
- pp. 697-700
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 오용호 ( Yong Ho Oh ) , 고춘수 ( Chun Soo Go )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제17권 제7호 (2004년 7월) 2004, 07
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233738
MARC
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