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마스크 뒷면에 2 위상 회절 격자를 구현한 변형 조명 방법
마스크 뒷면에 2 위상 회절 격자를 구현한 변형 조명 방법
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 마스크 뒷면에 2 위상 회절 격자를 구현한 변형 조명 방법 / 이재철 ( Jai Cheol Lee ) , 오용호 ( Yong Ho Oh ) , 고춘수 ( Chun Soo Go ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 697-700
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233738
MARC
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