서브메뉴
검색
마스크 뒷면에 2 위상 회절 격자를 구현한 변형 조명 방법
마스크 뒷면에 2 위상 회절 격자를 구현한 변형 조명 방법
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 마스크 뒷면에 2 위상 회절 격자를 구현한 변형 조명 방법 / 이재철 ( Jai Cheol Lee ) , 오용호 ( Yong Ho Oh ) , 고춘수 ( Chun Soo Go ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 697-700
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233738
MARC
008191004s2004 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a이재철 ( Jai Cheol Lee )
■24510▼a마스크 뒷면에 2 위상 회절 격자를 구현한 변형 조명 방법▼d이재철 ( Jai Cheol Lee ) ▼e오용호 ( Yong Ho Oh ) , 고춘수 ( Chun Soo Go ) 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2004.
■300 ▼app. 697-700
■500 ▼a참고문헌 수록
■7001 ▼a오용호 ( Yong Ho Oh ) , 고춘수 ( Chun Soo Go )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제17권 제7호 (2004년 7월)▼d2004, 07
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014474▼b60055323▼h8▼s2▼fP
