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SiGe HBT 제작을 위한 실리콘 게르마늄 단결정 박막의 RBS 분석
SiGe HBT 제작을 위한 실리콘 게르마늄 단결정 박막의 RBS 분석
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 한태현
- 서명/저자
- SiGe HBT 제작을 위한 실리콘 게르마늄 단결정 박막의 RBS 분석 / 한태현 , 안호명 , 서광열 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 916-923
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 안호명 , 서광열
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233702
MARC
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제17권 제9호 (2004년 9월)▼d2004, 09
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014476▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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