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CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향
CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 김구연
- 서명/저자
- CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향 / 김구연 , 김형재 , 박범영 , 이현섭 , 박기현 , 정해도 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 1049-1055
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233687
MARC
008191004s2004 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a김구연
■24510▼aCMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향▼d김구연 ▼e김형재 , 박범영 , 이현섭 , 박기현 , 정해도 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2004.
■300 ▼app. 1049-1055
■500 ▼a참고문헌 수록
■7001 ▼a김형재 , 박범영 , 이현섭 , 박기현 , 정해도
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제17권 제10호 (2004년 10월)▼d2004, 10
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014477▼b60055323▼h8▼s2▼fP
