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CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향
CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 김구연
- 서명/저자
- CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향 / 김구연 , 김형재 , 박범영 , 이현섭 , 박기현 , 정해도 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 1049-1055
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233687
MARC
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