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CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향
CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 김구연
- Title/Author
- CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향 / 김구연 ; 김형재 , 박범영 , 이현섭 , 박기현 , 정해도 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- Material Info
- pp. 1049-1055
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 김형재 , 박범영 , 이현섭 , 박기현 , 정해도
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제17권 제10호 (2004년 10월) 2004, 10
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233687
MARC
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