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SAXS와 AFM에 의한 HF-용액내 양극 에칭에 의해 제조된 기공성 실리콘의 구조연구
SAXS와 AFM에 의한 HF-용액내 양극 에칭에 의해 제조된 기공성 실리콘의 구조연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 김유진
- 서명/저자
- SAXS와 AFM에 의한 HF-용액내 양극 에칭에 의해 제조된 기공성 실리콘의 구조연구 / 김유진 , 김화중 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 1218-1223
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 김화중
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233645
MARC
008191004s2004 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a김유진
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■7001 ▼a김화중
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제17권 제11호 (2004년 11월)▼d2004, 11
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014478▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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