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반도체/디스플레이 소자용 초음파 건식세정 시뮬레이션 연구
반도체/디스플레이 소자용 초음파 건식세정 시뮬레이션 연구
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 윤의중
- Title/Author
- 반도체/디스플레이 소자용 초음파 건식세정 시뮬레이션 연구 / 윤의중 ; 이강원 , 김철호 , 이석태 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- Material Info
- pp. 1259-1263
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 이강원 , 김철호 , 이석태
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제17권 제12호 (2004년 12월) 2004, 12
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233615
MARC
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