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반도체/디스플레이 소자용 초음파 건식세정 시뮬레이션 연구
반도체/디스플레이 소자용 초음파 건식세정 시뮬레이션 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 윤의중
- 서명/저자
- 반도체/디스플레이 소자용 초음파 건식세정 시뮬레이션 연구 / 윤의중 , 이강원 , 김철호 , 이석태 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 1259-1263
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 이강원 , 김철호 , 이석태
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233615
MARC
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