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산화제 첨가에 따른 WO3 박막의 CMP 평탄화 특성
산화제 첨가에 따른 WO3 박막의 CMP 평탄화 특성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 이우선
- 서명/저자
- 산화제 첨가에 따른 WO3 박막의 CMP 평탄화 특성 / 이우선 , 고필주 , 김남훈 , 서용진 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 12-16
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 고필주 , 김남훈 , 서용진
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233601
MARC
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■1001 ▼a이우선
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■7001 ▼a고필주 , 김남훈 , 서용진
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제18권 제1호 (2005년 1월)▼d2005, 01
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014480▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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