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90 nm급 텅스텐 폴리사이드 게이트 식각공정에서 식각종말점의 안정화에 관한 연구
90 nm급 텅스텐 폴리사이드 게이트 식각공정에서 식각종말점의 안정화에 관한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 고용득
- 서명/저자
- 90 nm급 텅스텐 폴리사이드 게이트 식각공정에서 식각종말점의 안정화에 관한 연구 / 고용득 , 천희곤 , 이징혁 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 206-211
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 천희곤 , 이징혁
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233569
MARC
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제18권 제3호 (2005년 3월)▼d2005, 03
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