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Self-conditioning 고정입자패드를 이용한 CMP
Self-conditioning 고정입자패드를 이용한 CMP
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 박범영
- 서명/저자
- Self-conditioning 고정입자패드를 이용한 CMP / 박범영 , 이현섭 , 박기현 , 서헌덕 , 정해도 , 김호윤 , 김형재 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 321-326
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233556
MARC
008191004s2005 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a박범영
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■7001 ▼a이현섭 , 박기현 , 서헌덕 , 정해도 , 김호윤 , 김형재
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제18권 제4호 (2005년 4월)▼d2005, 04
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014483▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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