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CMP에서의 스틱-슬립 마찰특성에 관한 연구
CMP에서의 스틱-슬립 마찰특성에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 이현섭
- 서명/저자
- CMP에서의 스틱-슬립 마찰특성에 관한 연구 / 이현섭 , 박범영 , 서헌덕 , 박기현 , 정해도 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 313-320
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233555
MARC
008191004s2005 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a이현섭
■24510▼aCMP에서의 스틱-슬립 마찰특성에 관한 연구▼d이현섭 ▼e박범영 , 서헌덕 , 박기현 , 정해도 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2005.
■300 ▼app. 313-320
■500 ▼a참고문헌 수록
■7001 ▼a박범영 , 서헌덕 , 박기현 , 정해도
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제18권 제4호 (2005년 4월)▼d2005, 04
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014483▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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