서브메뉴
검색
저압화학증착을 이용한 실리콘-게르마늄 이종접합구조의 에피성장과 소자제작 기술 개발
저압화학증착을 이용한 실리콘-게르마늄 이종접합구조의 에피성장과 소자제작 기술 개발
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 김규환
- 서명/저자
- 저압화학증착을 이용한 실리콘-게르마늄 이종접합구조의 에피성장과 소자제작 기술 개발 / 김규환 , 김상훈 , 송영주 , 이내응 , 임정욱 , 강진영 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 285-296
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233551
MARC
008191004s2005 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a김규환
■24510▼a저압화학증착을 이용한 실리콘-게르마늄 이종접합구조의 에피성장과 소자제작 기술 개발▼d김규환 ▼e김상훈 , 송영주 , 이내응 , 임정욱 , 강진영 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2005.
■300 ▼app. 285-296
■500 ▼a참고문헌 수록
■7001 ▼a김상훈 , 송영주 , 이내응 , 임정욱 , 강진영
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제18권 제4호 (2005년 4월)▼d2005, 04
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014483▼b60055323▼h8▼s2▼fP
