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Chemical Mechanical Polishing 공정에 관한 원자단위 반응 모델링
Chemical Mechanical Polishing 공정에 관한 원자단위 반응 모델링
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 변기량
- 서명/저자
- Chemical Mechanical Polishing 공정에 관한 원자단위 반응 모델링 / 변기량 , 강정원 , 송기오 , 황호정 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 414-422
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 강정원 , 송기오 , 황호정
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233539
MARC
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