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전기화학 기계적 연마를 이용한 Cu 배선의 평탄화
전기화학 기계적 연마를 이용한 Cu 배선의 평탄화
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 정석훈
- 서명/저자
- 전기화학 기계적 연마를 이용한 Cu 배선의 평탄화 / 정석훈 , 서헌덕 , 박범영 , 박재홍 , 정해도 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2007.
- 형태사항
- pp. 213-217
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233522
MARC
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