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10nm 두께의 니켈 코발트 합금 박막으로부터 제조된 니켈코발트 복합실리사이드의 미세구조 분석
10nm 두께의 니켈 코발트 합금 박막으로부터 제조된 니켈코발트 복합실리사이드의 미세구조 분석
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 송오성
- 서명/저자
- 10nm 두께의 니켈 코발트 합금 박막으로부터 제조된 니켈코발트 복합실리사이드의 미세구조 분석 / 송오성 , 김상엽 , 김종률 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2007.
- 형태사항
- pp. 308-317
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 김상엽 , 김종률
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233503
MARC
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■500 ▼a참고문헌 수록
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제20권 제4호 (2007년 4월)▼d2007, 04
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