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실리콘 연마에서 패드 버핑 공정이 연마특성에 미치는 영향
실리콘 연마에서 패드 버핑 공정이 연마특성에 미치는 영향
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 박기현
- 서명/저자
- 실리콘 연마에서 패드 버핑 공정이 연마특성에 미치는 영향 / 박기현 , 정해도 , 박재홍 , 마사하루키노시타 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2007.
- 형태사항
- pp. 303-307
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 정해도 , 박재홍 , 마사하루키노시타
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233502
MARC
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