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다양한 산화물 기판 위에 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 ZnO 박막의 특성 비교
다양한 산화물 기판 위에 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 ZnO 박막의 특성 비교
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 이재욱
- Title/Author
- 다양한 산화물 기판 위에 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 ZnO 박막의 특성 비교 / 이재욱 ; 정철원 , 한석규 , 최준호 , 홍순구 , 조형균 , 송정훈 , 이정용 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2007.
- Material Info
- pp. 289-293
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 정철원 , 한석규 , 최준호 , 홍순구 , 조형균 , 송정훈 , 이정용
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제20권 제4호 (2007년 4월) 2007, 04
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233500
MARC
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