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다양한 산화물 기판 위에 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 ZnO 박막의 특성 비교
다양한 산화물 기판 위에 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 ZnO 박막의 특성 비교
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 이재욱
- 서명/저자
- 다양한 산화물 기판 위에 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 ZnO 박막의 특성 비교 / 이재욱 , 정철원 , 한석규 , 최준호 , 홍순구 , 조형균 , 송정훈 , 이정용 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2007.
- 형태사항
- pp. 289-293
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233500
MARC
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