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Fabrication of SOI FinFET Devices using Arsenic Solid-phase-diffusion
Fabrication of SOI FinFET Devices using Arsenic Solid-phase-diffusion
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- Won Ju Cho
- 서명/저자
- Fabrication of SOI FinFET Devices using Arsenic Solid-phase-diffusion / Won Ju Cho , Hyun Mo Koo , Woo Hyun Lee , Sang Mo Koo , Hong Bay Chung 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2007.
- 형태사항
- pp. 394-398
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233485
MARC
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