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수소 및 중수소가 포함된 실리콘 산화막의 전기적 스트레스에 의한 열화특성
수소 및 중수소가 포함된 실리콘 산화막의 전기적 스트레스에 의한 열화특성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 이재성
- 서명/저자
- 수소 및 중수소가 포함된 실리콘 산화막의 전기적 스트레스에 의한 열화특성 / 이재성 , 백종무, 정영철, 도승우, 이용현 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 996-1000
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 백종무, 정영철, 도승우, 이용현
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233220
MARC
008191001s2005 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a이재성
■24510▼a수소 및 중수소가 포함된 실리콘 산화막의 전기적 스트레스에 의한 열화특성▼d이재성▼e백종무, 정영철, 도승우, 이용현 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2005.
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■7001 ▼a백종무, 정영철, 도승우, 이용현
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제18권 제11호 (2005년 11월)▼d2005, 11
■856 ▼uhttp://kieeme.or.kr
■SIS ▼aS016376▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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