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SOI 기판을 이용한 Thermal Probe 어레이 제작 및 특성 평가
SOI 기판을 이용한 Thermal Probe 어레이 제작 및 특성 평가
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 조주현
- 서명/저자
- SOI 기판을 이용한 Thermal Probe 어레이 제작 및 특성 평가 / 조주현 , 나기열, 박근형, 이재봉, 김영석 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 990-995
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 나기열, 박근형, 이재봉, 김영석
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233218
MARC
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