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Ruthenium CMP에서 Cerium Ammonium Nitrate와 알루미나 연마 입자가 연마 거동에 미치는 영향
Ruthenium CMP에서 Cerium Ammonium Nitrate와 알루미나 연마 입자가 연마 거동에 미치는 영향
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 이상호
- 서명/저자
- Ruthenium CMP에서 Cerium Ammonium Nitrate와 알루미나 연마 입자가 연마 거동에 미치는 영향 / 이상호 , 이승호, 강영재, 김인권, 박진구 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 803-809
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 이승호, 강영재, 김인권, 박진구
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233127
MARC
008191001s2005 ulk aa kor■022 ▼a12267945
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제18권 제9호 (2005년 9월)▼d2005, 09
■856 ▼uhttp://kieeme.or.kr
■SIS ▼aS016374▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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