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Cu 배선의 평탄화를 위한 ECMD에 관한 연구
Cu 배선의 평탄화를 위한 ECMD에 관한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 정석훈
- 서명/저자
- Cu 배선의 평탄화를 위한 ECMD에 관한 연구 / 정석훈 , 서현덕, 박범영, 박재홍, 박성민, 정문기, 정해도, 김형재 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 793-797
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233122
MARC
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