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텅스텐 CMP에서 산화제 영향에 관한 연구
텅스텐 CMP에서 산화제 영향에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 박범명
- 서명/저자
- 텅스텐 CMP에서 산화제 영향에 관한 연구 / 박범명 , 이현섭, 박기현, 정석훈, 서현덕, 정해도, 김호윤, 김형재 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 787-792
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233119
MARC
008191001s2005 ulk aa kor■022 ▼a12267945
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■7001 ▼a이현섭, 박기현, 정석훈, 서현덕, 정해도, 김호윤, 김형재
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제18권 제9호 (2005년 9월)▼d2005, 09
■856 ▼uhttp://kieeme.or.kr
■SIS ▼aS016374▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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