서브메뉴
검색
RF 스퍼터링으로 Si 기판위에 제작된 ZnO 박막에서 ZnO 버퍼층의 가스분위기 영향
RF 스퍼터링으로 Si 기판위에 제작된 ZnO 박막에서 ZnO 버퍼층의 가스분위기 영향
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 박태은
- 서명/저자
- RF 스퍼터링으로 Si 기판위에 제작된 ZnO 박막에서 ZnO 버퍼층의 가스분위기 영향 / 박태은 , 조형균, 공보현, 홍순구 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 656-661
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 조형균, 공보현, 홍순구
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233048
MARC
008191001s2005 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a박태은
■24510▼aRF 스퍼터링으로 Si 기판위에 제작된 ZnO 박막에서 ZnO 버퍼층의 가스분위기 영향▼d박태은▼e조형균, 공보현, 홍순구 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2005.
■300 ▼app. 656-661
■500 ▼a권말 색인 및 참고문헌 수록
■7001 ▼a조형균, 공보현, 홍순구
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제18권 제7호 (2005년 7월)▼d2005, 07
■856 ▼uhttp://kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014486▼b60055323▼h8▼s2▼fP
