서브메뉴
검색
CMP 패드 강성에 따른 산화막 불균일성(WIWNU)에 관한 연구
CMP 패드 강성에 따른 산화막 불균일성(WIWNU)에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 박기현
- 서명/저자
- CMP 패드 강성에 따른 산화막 불균일성(WIWNU)에 관한 연구 / 박기현 , 정재우, 박범영, 서헌덕, 이현섭, 정해도 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 521-526
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60232976
MARC
008191001s2005 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a박기현
■24510▼aCMP 패드 강성에 따른 산화막 불균일성(WIWNU)에 관한 연구▼d박기현▼e정재우, 박범영, 서헌덕, 이현섭, 정해도 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2005.
■300 ▼app. 521-526
■500 ▼a권말 색인 및 참고문헌 수록
■7001 ▼a정재우, 박범영, 서헌덕, 이현섭, 정해도
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제18권 제6호 (2005년 6월)▼d2005, 06
■856 ▼uhttp://kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014485▼b60055323▼h8▼s2▼fP
Preview
Export
ChatGPT Discussion
AI Recommended Related Books
Подробнее информация.
- Бронирование
- не существует
- моя папка
- Reference Materials for Thesis Writing
- Reference Materials for Research Ethics
- Job-Related Books
