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H2O2 산화제가 W/Ti 박막의 전기화학적 분극특성 및 CMP 성능에 미치는 영향
H2O2 산화제가 W/Ti 박막의 전기화학적 분극특성 및 CMP 성능에 미치는 영향
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 나은영
- 서명/저자
- H2O2 산화제가 W/Ti 박막의 전기화학적 분극특성 및 CMP 성능에 미치는 영향 / 나은영 , 서용진, 이우선 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 515-520
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 서용진, 이우선
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60232972
MARC
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